电子束蒸发镀膜设备报价-电子束蒸发镀膜设备-沈阳鹏程真空技术

电子束蒸发镀膜机设备性能介绍

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设备性能技术指标：

1、设备---真空度：5×10-5pa（电子枪静止状态）。

2、设备总体漏放率：关机12小时后，真空度≤8pa。

3、从---到抽到≤9×10-4pa，40min(新设备充干燥氮气)，提高了工作效率。

4、真空漏率：≤10-7pa.l/s

电子束镀膜机部件介绍

镀膜室：

采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空---不锈钢， 厚度***1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空---不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。

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