沈阳鹏程公司-多源有机无机热蒸发镀膜机价格

电阻蒸发镀膜机的结构以及特点

结构和特点：结构可为立卧式双开门结构，成膜速率快，色泽鲜亮，膜层不易受污染，可获得致密性好、纯度高、膜厚均匀的膜层，不产生废液、废水，可避免对环境污染，属设备。

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zf500有机蒸发镀膜机

广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高功能薄膜、蒸镀电极等，多源有机无机热蒸发镀膜机报价，半导体、有机el、oled显示研究与开发领域。

系统组成:

主要由真空室、蒸发源、样品台、 真空抽气及测量、膜厚测试 、电控系统组成。

技术指标：

---真空度4×10-5pa，系统漏率：1.2×10-7pal/s； 恢复真空时间：40分钟可达6.0×10 pa-4

真空室：d形真空室，尺寸350× 400mm

样品台：尺寸为4英寸4平面样品；

有机束源炉：数量：4支，标准型600度控温；

样品架：安装加热炉。基片的温度从室温至600℃（硅片上表面的温度，只需标定一次即可）

4套挡板系统：动密封手动控制；

样品挡板（１套），磁力拨叉，

膜厚控制仪：膜厚测量范围0-999999? 

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