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化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种工艺,它大致包含三步:
(1)形成挥发性物质 ;
(2)把上述物质转移至沉积区域 ;
(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质 。基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。
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等离子体化学气相沉积简称pcvd,是一种用等离子体激发反应气体,进口化学气相沉积设备,促进在基体表面或近表面空间进行化学反应,生成固态膜的技术。等离子体化学气相沉积技术的基本原理是在高频或直流电场作用下,进口化学气相沉积设备多少钱,源气体电离形成等离子体,利用低温等离子体作为能量源,通入适量的反应气体,利用等离子体放电,使反应气体激发并实现化学气相沉积的技术。
? 高温石英管反应器设计
? 温度范围:室温到1100度
? 多路气体准确控制
? 标准气压计
? 易于操作
? 可配机械泵实现低压tcvd
? 可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膜
? 液体前驱体喷头
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