* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片rf/dc偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源(热蒸镀,高真空电子束镀膜机价格,磁控溅射)
* 用于反应蒸镀的mfc
* 不同的泵---择,可升级分子泵为冷泵,前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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其实,增速器离人们的生活并不远。现代生活中已经普及的电视、计算机显示器所用的显像管就是一台小小的电子增速器。显像管有玻璃密封外壳,内部---真空。由一端的电子枪产生的电子束(强度受影像讯号控制)经过---线圈---后在高压电极的作用下加速向前运动。与此同时,电子束在偏转电极的作用下,高真空电子束镀膜机公司,自上而下作水平方向的扫描。这样,在显像管另一端的荧光屏上就形成了明暗程度不同的亮点。
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1、系统自动监控和保护功能强,包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置,温州高真空电子束镀膜机,避免机械泵返油造成膜层污染,提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统,可在线监测及控制膜层厚度,膜厚仪与基片挡板联动,形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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