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适用于制备金属单质薄膜、半导体薄膜、氧化物薄膜、有机薄膜等,钙钛矿蒸发镀膜机厂家,可用于科研单位进行新材料、新工艺薄膜研究工作,也可用于大批量生产前的试验工作。与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空蒸发系统工作室置于glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,pvd与glove box硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、oled等研究领域
技术指标:
1. 真空室的---真空度达5*10-5pa,漏率为关机12小时≤5pa
2. 真空腔内配有集约样品台一套,配有大挡板和16套小挡板,手动
3. 蒸发源共14套,其中10套有机蒸发源,4套金属蒸发源。控温
4. 金属蒸发源配4台一带一1000w可控硅调压电源,通过铜电极
5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源,有机源温度为室温-500度,
6. 样品台具有旋转、升降功能,可在线更换掩膜板一次,可同时装
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有机无机蒸发镀膜仪采用直线式结构,主要由二个有机材料生长室组成,两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接,其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口,能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。有机无机蒸发镀膜仪的有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。
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