1、样品位于真空室上方,蒸发源位于真空室下方,贵阳parylene,向上蒸发镀膜,且蒸发源带有挡板装置。
2、设有烘烤加热功能,可在镀膜过程中加热样品,烘烤加热温度为≤180℃。
3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。
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产品特点
1、此款镀膜仪配置有两个靶枪:一个靶枪配套的是射频电源,用于非导电靶材的溅射镀膜;一个靶枪配套的是直流电源,parylene销售,用于导电材料的溅射镀膜
2、该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜,parylene,应用非常广泛。
3、该镀膜仪体积较小,且配备有触摸屏控制面板,操作方便。
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主要用途:
系统主要用来生长el oel分子有机电致发光器件薄膜的研究工作
系
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