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设备用途:
在光纤表面镀制纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。配有阳极层离子源进行清洗和辅助沉积,ck450b磁控溅射镀膜机批发,同时设备具有反溅射清洗功能,以提高膜的和牢固度。---样品台可镀制多种型号光纤产品
系统主要由真空室、磁控靶、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售磁控溅射产品,我们为您分析该产品的以下信息。
自动磁控溅射系统产品特点:
不锈钢腔体
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下的载片
基于labview软件的pc计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
完全的安全联锁功能
预真空锁以及自动晶圆片上/下的载片
带有14”立方形不锈钢腔体,4个2”的磁控管,dc直流和rf射频电源。 在选配方面,350 l/s涡轮分子泵,线列式磁控溅射镀膜机批发,额外的磁控管和衬底加热功能。
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