激光脉冲沉积装置价格-沈阳鹏程-激光脉冲沉积装置

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    2020-11-20

董顺
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脉冲激光沉积简介

随着现代科学和技术的发展,薄膜科学已成为近年来迅速发展的学科领域之一,是凝聚态物理学和材料科学的一个重要研究领域。功能薄膜是薄膜研究的主要方面,它不仅具有丰富的物理内涵,激光脉冲沉积装置厂家,而且在微电子、光电子、超导材料等领域具有十分广泛的应用。长期以来,激光脉冲沉积装置,人们发明了多种制膜技术和方法:真空蒸发沉积、离子束溅射、磁控溅射沉积、分子束外延、金属有机化学气相沉积、溶胶- 凝胶法等。上述方法各有特点,并在一些领域得到应用。但由于其各有局限性,仍然不能满足薄膜研究的发展及多种薄膜制备的需要。随着激光技术和设备的发展,---是高功率脉冲激光技术的发展,脉冲激光沉积(pld)技术的特点逐渐被人们认识和接受

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常规沉积条件下的组合合成

脉冲激光沉积系统特点及优势:

可根据客户需求定制产品,灵活性高,并提供---技术支持;靶台可以安装6个靶位,靶材更换灵活;样品台样品尺寸从10x10mm样品到2英寸样品均适用;进样室可以存储多个靶和样品;交易过程无需繁琐的进、出关手续, 交货期短,---;

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脉冲激光沉积简介

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设备主要用途

pld450a型脉冲激光沉积设备采用pld脉冲激光沉积技术,用于制备高温超导薄膜、半导体膜、铁电薄膜、硬质薄膜以及微电子和光电子用多元氧化物薄膜及异质结,也可用于制备氮、碳、硅化合物及各种有机—无机复合材料薄膜及金刚石薄膜等。

设备优点

设备全程采用一键式操作抽气,关机,程序自动化定时操作。避免了繁琐的角阀,插板阀人工开启。

设备主要组成

设备由沉积腔室(单室球形或圆筒形)、样品加热转台、激光入射转靶、激光窗、电源控制系统、激光束扫描系统、计算机控制转靶的旋转、脉冲准分子激光器等组成



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