磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面以及靶源表面,从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,---的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
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直流磁控溅射技术其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,ck600磁控镀膜机生产厂家,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,ck300磁控镀膜机生产厂家,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上---薄膜的。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,磁控镀膜机生产厂家,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。
实用性:设备集成度高,结构紧凑,占地面积小,可以满足客户实验室空间不足的苛刻条件;通过更换设备上下法兰可以实现磁控与蒸发功能的转换,实现一机多用;
方便性:设备需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,接线及安装调试简单,既---了设备使用方便又---了设备的整洁;
---:设备主要零部件采用进口或国内品牌,以国产设备的价格拥有进口设备的配置,从而---了设备的及性能;
安全性:独立开发的plc+触摸屏智能操作系统在传统操作系统的基础上新具备了漏气自检与提示、通讯故障自检、保养维护提示等功能,---了设备的使用安全性能;
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