电子束蒸发镀膜设备公司-沈阳鹏程真空技术公司

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    2020-9-4

董顺
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电子束蒸发镀膜机的用途

电子束蒸发沉积镀膜设备,具有有机材料沉积和金属材料沉积成膜功能。它是在高真空条件下,通过加热材料的方法,在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜,电子束蒸发镀膜设备报价,在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积.

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双枪电子束镀膜机介绍

电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式,它可以蒸发任何一种镀膜材料,它的工作方式是:将镀膜材料放在坩埚里面,将蒸发源制作成灯丝形状,采用一专门的控制柜,对灯丝加一强电流,高电压,由于灯丝的材料是钨,所以它会---,然后会发射电子,再采用一定的磁场将其---成一定形状,并牵引到坩埚上,这样就形成了一股电子束,电子束蒸发镀膜设备,由于电子束温度非常高,可以熔化任何镀膜药材,当镀膜药材被电子束熔化后(有些材料是直接升华),药材的分子(原子或者离子)在真空中成直线运动,然后遇到基板,就凝结下来,经过这种方式生长,形成薄膜!

常用的有将电子束的偏转角制作成270度,电子束蒸发镀膜设备,、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度,电子束蒸发镀膜设备公司,运行轨迹为c型的c型电子枪两种。

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电子束蒸发镀膜设备简介

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高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10kw e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物(ito等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。



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