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多源蒸发系统介绍

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主要用途：　　

系统主要用来生长el oel分子有机电致发光器件薄膜的研究工作　　

系统组成:　　

该类设备为双室带手套箱结构的有机、无机、多源有机、无机气相分子沉积设备，采用直线式结构，oled多源蒸发镀膜机价格，由一个金属材料生长、氧化物生长室、一个有机材料生长室和一个手套箱组成，金属材料生长和氧化物生长室以及进样室/氧化物生长室之间通过空气锁联接，样品通过带远程手控盒功能的电动磁力耦合装置在两个生长室之间手动传递。可选手套箱。　　

有机热蒸发镀膜机介绍

技术指标：

1. 真空室的---真空度达5*10-5pa，漏率为关机12小时≤5pa

2. 真空腔内配有集约样品台一套，多源蒸发镀膜机价格，配有大挡板和16套小挡板，400a多源蒸发镀膜机价格，手动控制，开关方便快捷，每个小挡板挡两块30*30mm样片

3. 蒸发源共14套，其中10套有机蒸发源，4套金属蒸发源。控温精度±1℃，可以实现温度或电流补偿实现蒸镀速率稳定的功能

4. 金属蒸发源配4台一带一1000w可控硅调压电源，通过铜电极连接，双室多源蒸发镀膜机价格，两端可夹钨绞丝或者钽舟，钨绞丝可以蒸镀丝状或者大颗粒材料，钽舟可以蒸镀粉末状材料，蒸发源采用陶瓷全密封，避免交叉污染

5. 有机蒸发源配10台一带一温控电源，有机源温度为室温-500度，可以根据材料及用户需求自行调节

6. 样品台具有旋转、升降功能，可在线更换掩膜板一次，可同时装载30mm*30mm样品16块。本产品每两个样品都配有小挡板，并且通过plc控制步进电机对每个小挡板做16个定位，使机械手推拉小挡板，样品与蒸发源之间的间距为200-300mm

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