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化学气相沉积法在金属材料方面的使用

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钯的化学气相沉积pd 及其合金对氢气有着极强的吸附作用以及---的选择渗透性能，化学气相沉积设备，是一种存储或者净---气的理想材料。对于pd 的使用大多是将钯合金或是钯镀层生产氢净化设备 。也有些学者使用化学气相沉积法将钯制成薄膜或薄层。具体做法是使用分解温度极低的金属有机化合物当做制备钯的材料，具体包括：---pd（η-c3h5） （η-c5h5）以及 pd（η-c3h5）（cf3cochcocf3）之类的材料，使用这种方式能够制取出纯度---的钯薄膜。

化学气相沉积的原理

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化学气相沉积技术是应用气态物质在固体上产生化学反应和传输反应等并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：

（1）形成挥发性物质 ；

（2）把上述物质转移至沉积区域 ；

（3）在固体上产生化学反应并产生固态物质 。基本的化学气相沉积反应包括热分解反应、化学合成反应以及化学传输反应等集中。