镀膜室：
采用立式、前开门结构，外壁通冷却水。镀膜室尺寸φ450×h600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块（材质：304真空---不锈钢， 厚度***1 mm），镀膜室及前开门材质：304真空---不锈钢，镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术；焊接完成后，镀膜室（包括抽气管道、连接法兰等）均进行内表面抛光，外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理，以减少出气量。
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电子经过汇集成束。具有高能量密度。它是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压（25-300kv）加速电场作用下被加速至---的速度（0.3-0.7倍---），珠海电子束蒸发镀膜机，经透镜会聚作用后，电子束蒸发镀膜机，形成密集的高速电子流。
电子束释义：又称电子注。在真空汇集成束。可采用静电场---，磁场---等方法。电子显微镜和电视机就是利用电子束形成影像的。
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1、样品台：水冷样品座，样品座高度可调，便于调整蒸距。调节范围：样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪：电子枪功率6kw可调（满足金属、绝缘材料高速蒸发）4穴水冷坩埚（适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好）。为保持e型电子枪蒸发绝缘稳定性，配制---束流扫描控制器，具有多种供控制程序进行选择的预设模式，方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬，以适应不同材料，---蒸发速率稳定性，重复性.
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