parylene用---的真空气相沉积工艺（cvd技术）制备，由活性小分子在基材表面生长出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称无孔不入可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。parylene涂层在具备以上优异防护性能基础上，尤其还具有---的生物兼容性，生物稳定性，并有优异的自润滑性，涂层均匀可控性，以及好的物理机械性能。
1.一腔体，采用sus304不锈钢舱体有效镀膜空间 ≧ 直径300mm x 高度350mm，腔体设有观景窗， 采用掀盖式腔盖并设有把手以便腔盖开闭。
2. 旋转平台，单室三源金属热蒸发镀膜机生产厂家，可承载重量: 20公斤，旋转速度: 0.5至10 rpm。
3. 油式泵浦，抽气速度 ≧ 200l/min ; 压力 ≦ 5*10-3torr。
4. 控制系统，采用具pid功能之温控模块及高的精度温度传感器，系统可进行自动或半自动(温控/真空)操作，并可储存与选择recipe 。
5. 附属冷凝机，南京单室三源金属热蒸发镀膜机，温度 ≦ -90℃
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产品特点
1、此款镀膜仪配置有两个靶枪：一个靶枪配套的是射频电源，用于非导电靶材的溅射镀膜；一个靶枪配套的是直流电源，用于导电材料的溅射镀膜
2、该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜，应用非常广泛。
3、该镀膜仪体积较小，且配备有触摸屏控制面板，操作方便。
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结构和特点：结构可为立卧式双开门结构，单室三源金属热蒸发镀膜机报价，成膜速率快，色泽鲜亮，膜层不易受污染，单室三源金属热蒸发镀膜机供应，可获得致密性好、纯度高、膜厚均匀的膜层，不产生废液、废水，可避免对环境污染，属设备。
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